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Copy of 气体质量流量控制器LF-A010
原理是采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量,将传感器测得的流量信号进行放大,然后与设定的信号进行比较,用所得的差值去驱动控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
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气体质量流量控制器LF-A010
原理是采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量,将传感器测得的流量信号进行放大,然后与设定的信号进行比较,用所得的差值去驱动控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
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