产品详情

介绍

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热式原理

 

高精度高稳定性

 

耐腐蚀

 

宽量程比

 

安全可靠

 

国产化替代

 

 

高精度、长期稳定性强、抗吸附、耐腐蚀、耐高压,高端制造,助力科研。

 

 

 

详细参数

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主要参数 参数描述
介质要求 腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 可80多种气体,请参考背面
量程从 0 -30 SLPM(详情请咨询)测量和控制范围2~100%
显示方式 显示质量流量
精度 ±1 %满量程
重复性 ±0.2 %满量程
零点漂移&满量程漂移0.05 %满量程/℃/Atm响应时间 优于1s
预热时间 <15min
标定工况 0 ℃&101325Pa(其它标况可选)
工作温度 5~55 ℃(可选高温选项至-20~80 ℃)
工作湿度 0 ~95 %,无冷凝
最大工作压力 3 MPaG
最低操作压力 如果不做真空特殊标定,建议在绝压80 KPaA 以上使用;其他真空压力建议做特殊标定
满量程压损 参考背面详细压损表数字输入/输出信号:无
模拟输入/输出信号 0-5 VDC、4-20 mA
模拟信号精度 在基础误差上额外增加±0 .1%满量程的误差
供电电压 12 -30 VDC(如选4-20 mA 输出,须为15 -30 VDC)
供电电流 250 mA,1 A,2 A(详情咨询)
电气接口 DB9
泄漏率(外漏) 泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材质 SS316不锈钢
过程连接 标准为G1/4 内螺纹
安装方式 对位置无要求
防护等级 IP40
认证 ISO 9001

 

 

 

应用行业

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大学/研究所

环境监测

真空行业及镀膜

光 伏

计量校准

 

Copy of 气体质量流量控制器LF-A010

原理是采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量,将传感器测得的流量信号进行放大,然后与设定的信号进行比较,用所得的差值去驱动控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
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