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LF-M系列一体式液晶显示气体质量流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成,即热分布式流量计(Thermal Profile Flowmeter)。采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量,可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大, 然后与设定的电压进行比较,用所得的差值信号去驱动控制调节阀门,通过闭环,去控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器在主通道和毛细管间产生层流,控制输出的流量检测电压与流过通道的流量成比例。
此款气体质量流量控制器使用一个带背光的点阵液晶显示器,直观清晰的显示出多种有用的流量数据,包括:瞬时流量、累计流量和温度等。DMASS 具有不同的显示画面,它取决于定货的型号,如流量计或控制器、电流输出或电压输出等。具有统一的主显示画面、气体选择画面(特定气体时本画面可能无效)、校准画面、设备信息等。