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六氟化钨投加混合氢气和氩气的多组分气体控制装置LFIX-4000 能把三种气体按照预定比例的掺混智能化集成系统,具有将各路气体进行流量控制检测、温度控制检测、系统抽真空以及氮气吹扫等功能。设备是有电脑主机、数据编程模块以及机械部分组成,科学的自动化程序,可以通过专用的通讯电缆与操控电脑或是其他上位机做数据交换处理,可通过实时的监控高精度的质量流量控制器来控制稀释气体以及组分气体的流量,从而达到高效、..的自动化动态配气。