介绍
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热式原理 |
高精度高稳定性 |
耐腐蚀 |
宽量程比 |
安全可靠 |
国产化替代 |
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高精度、长期稳定性强、抗吸附、耐腐蚀、耐高压,高端制造,助力科研。 |
详细参数
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| 主要参数 | 参数描述 |
| 介质要求 | 腐蚀性、洁净、干燥的气体 |
| 介质种类 | 可80多种气体,请参考背面 |
| 量程从 | 0 -30 SLPM(详情请咨询)测量和控制范围2~100% |
| 显示方式 | 显示质量流量 |
| 精度 | ±1 %满量程 |
| 重复性 | ±0.2 %满量程 |
| 零点漂移&满量程漂移0.05 %满量程/℃/Atm响应时间 | 优于1s |
| 预热时间 | <15min |
| 标定工况 | 0 ℃&101325Pa(其它标况可选) |
| 工作温度 | 5~55 ℃(可选高温选项至-20~80 ℃) |
| 工作湿度 | 0 ~95 %,无冷凝 |
| 最大工作压力 | 3 MPaG |
| 最低操作压力 | 如果不做真空特殊标定,建议在绝压80 KPaA 以上使用;其他真空压力建议做特殊标定 |
| 满量程压损 | 参考背面详细压损表数字输入/输出信号:无 |
| 模拟输入/输出信号 | 0-5 VDC、4-20 mA |
| 模拟信号精度 | 在基础误差上额外增加±0 .1%满量程的误差 |
| 供电电压 | 12 -30 VDC(如选4-20 mA 输出,须为15 -30 VDC) |
| 供电电流 | 250 mA,1 A,2 A(详情咨询) |
| 电气接口 | DB9 |
| 泄漏率(外漏) | 泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He |
| 材质 | SS316不锈钢 |
| 过程连接 | 标准为G1/4 内螺纹 |
| 安装方式 | 对位置无要求 |
| 防护等级 | IP40 |
| 认证 | ISO 9001 |
应用行业
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大学/研究所 |
环境监测 |
真空行业及镀膜 |
光 伏 |
计量校准 |
气体质量流量控制器LF-A010
原理是采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量,将传感器测得的流量信号进行放大,然后与设定的信号进行比较,用所得的差值去驱动控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。







