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真空设备中常用的质量流量控制器

所属分类:行业资讯    发布时间: 2025-07-10    作者:admin
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     质量流量控制器的应用非常广泛,用于实验室各种研究及实验,也被分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注入,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气相色谱仪,光导纤维制造设备中以及真空设备,如真空镀膜、冶金、化工、电子封装等。在真空环境中进行的各种应用。

    质量流量控制器的主要作用是对气体或液体的质量流量进行精密测量和控制。这种控制器通过自动调整阀门开度来稳定和调节流体的流速和流量,..流量维持在用户设定的范围内。在真空设备中,在应过程中控制气体的流量,..反应效果稳定和...。质量流量控制器还具有自动化操作、流量保护、数据采集和记录等功能,能够实时监测和控制流体的流量,..其在设定的范围内,同时,许多控制器还具有自我诊断功能,有助于及时发现和解决潜在问题。

    LF系列质量流量控制器采用热式原理、气体的质量流量不受环境温度及压力的变化而变化。管状分流原理,便于更改量程,安装简易。良好的传感器封装,减少外部温度变化的敏感性。测量和控制的量程范围大,.大满量程可达30ln/min。预热时间短、零飘小、测量和控制精度高。可通过二次仪表或者PLC与仪表进行通讯,操作简单。以提高质量和生产效率。