气体质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对于气体的质量流量进行精密测量和控制：气体质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM)用于对于气体的质量流量进行精密测量。扩散，氧化，分子束外延，CVD， 等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工，冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。

1、结构

MFM由电路板、传感器、进出气管道接头、分流器通道机壳等部件组成，只能对气体质量流量进行测量;在MFM基础上加上调节阀构成MFC，既可以对气体质量流量进行测量，也能对流量进行控制。

2、工作原理

气流进入进气管道街头后大部分流量流过分流器通道，其中很小-部分进入传感器内部

的毛细钢管。由于分流器通道的特殊结构，可以实现这两部分气体流量成正比例关系。传感

器经过预热加温，里面的温度高于进入的气流温度，此时通过毛细钢管传热和温差量热法原

理测量这一小部分气体的质量流量。用这种办法测出的气体流量可以忽略温度和压力的影响，将传感器测得的流量检测信号输入电路板，经过放大后输出，就完成了_MFM的功能。将电路板中加入PID闭环自动控制功能，把传感器测得的流量检测信号与用户给出的设定信号进行比较，以此为基础控制调节阀，使得流量检测信号与设定信号相等，这样便实现了MFC的功能。

四川莱峰流体设备制造有限公司是一家集设计、 生产、销售机电设备、仪器仪表、实验室设备为一体的综合性技术企业。公司自主研发的产品具有稳定可靠，响应时间短，标定精度和重复精度高等特点，安装方便，无安装位置和直管段要求，操作简单，可配合流量显示仪或其他显示仪表使用，也可配合计算机使用。