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在使用气体质量流量控制器时不小心渗入液体的原因有很多,例如:环境监测站要对各种天气条件下的空气质量进行监测,下雨、结霜、融雪都可能使水汽进入气体质量流量控制器;燃料电池应用通过混合氧气与氢气来生成水,整个过程中极易引入水汽等。常规热式气体质量流量控制器内的传感器被设置为气体通过时将气体温度升高至一指定范围,由于液体的导热能力比气体强,所以即便只是瞬间、微量的液体出现于气路中,也会使得内部元件迅速冷却。当探测到温度下降,温度调节器便会耗费更多功率将其加热至规定温度,以致电子部件迅速烧毁。