介绍
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质量流量 |
高精度 |
耐腐蚀 |
稀释范围广 |
智能操作 |
高稳定性 |
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LFIX-HQ943混气设备是为中国科学院近代物理研究所重离子加速器配套的气体参漏系统，主要是为探测器应用腔体提供所需气体。 |
详细参数
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| 主要参数 | 参数描述 |
| 介质要求 | 适用于惰性气体或腐蚀性气体 |
| 配气原理 | 质量流量计原理 |
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量程范围
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1SCCM --1000 SCCM(详情请咨询）
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| 浓度范围 | 200：1（其他参数请咨询） |
| 精度 | ±0.5% |
| 响应时间 |
1 sec
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| 工作压差 |
0.1MPa（可根据用户要求定制）
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| 耐压 | 1MPa |
| 工作温度 | -5～55 ℃（可选） |
| 工作湿度 | 0 ~95 %，无冷凝 |
| 工作电源 | 220VAC ,50±0.5Hz |
| 通讯 |
RS485 物联网（可选）
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| 泄漏率 | 1 x 10-9Atm cc/s He |
应用行业
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大学/研究所 |
环境监测 |
真空行业及镀膜 |
新能源 |
计量校准 |
混气设备 LFIX-HQ943
整套设备共包含4条气路输入，分别为：（AR、C02、C4H、SF6）混合气体功能的综合输出并对腔内压力及腔外压差进行控制。
