介绍
——
|
质量流量 |
高精度 |
耐腐蚀 |
稀释范围广 |
智能操作 |
高稳定性 |
 |
系统使用调压阀，调节入口压力，通过电动比例阀后，做管道内流量检测；流量检测使用高精度质量流量计，精度1%。 |
详细参数
——
| 主要参数 | 参数描述 |
| 介质要求 | 适用于惰性气体或腐蚀性气体 |
| 原理 | 质量流量计原理 |
|
量程范围
|
22000SLM(详情请咨询）
|
| 精度 | ±1% |
| 响应时间 |
1 sec
|
| 压力调节范围 |
0--6MPa（可根据用户要求定制）
|
| 耐压 | 10MPa（可选30MPa） |
| 工作温度 | -5～55 ℃（可选） |
| 工作湿度 | 0 ~95 %，无冷凝 |
| 工作电源 | 220VAC |
| 泄漏率 | 1 x 10-9Atm cc/s He |
应用行业
——
|
大学/研究所 |
环境监测 |
真空行业及镀膜 |
新能源 |
计量校准 |
大流量气体发生与控制系统
大流量气体发生与控制系统，用于对工件的流通能力测试.控制范22000SLM/min。
