介绍
——
|
热式原理 |
高精度高稳定性 |
耐腐蚀 |
宽量程比 |
安全可靠 |
国产化替代 |
 |
高精度、长期稳定性强、抗吸附、耐腐蚀、耐高压，高端制造，助力科研。 |
详细参数
——
| 主要参数 | 参数描述 |
| 介质要求 | 腐蚀性、洁净、干燥的气体 |
| 介质种类 | 可80多种气体 |
| 量程比 | 50：1 |
|
量程范围
|
（0…5，10,20,30,50,100,200,300,500...）sccm
（0…1,2,3,5,10,30）slm
|
| 精度 | ±1.0%S.P(≥35%F.S) ±0.5%F.S(≤35%F.S) |
| 线性 |
±0.5%F.S
|
| 重复性 | ±0.2 %满量程 |
| 响应时间 |
1sec
|
| 工作压差 |
0.05~0.4MPa(2sccm≤FLOW≤10slm)
0.1…0.4MPa(10slm≤FLOW≤30slm)
|
| 标定工况 | 0 ℃&101325Pa（其它标况可选） |
| 工作温度 | -5～55 ℃（可选高温选项至-20～80 ℃） |
| 工作湿度 | 0 ~95 %，无冷凝 |
| 最大工作压力 | 3 MPaG/10MPaG |
| 模拟输入/输出信号 |
RS485 Modbus-RTU 协议 0…5Vd(默认) 4…20mA（可选）
|
| 供电 |
24Vdc(默认供电) +15Vdc(可选)，流量计＜400mA，控制器＜ 600mA
|
| 电气接口 | DB9 |
| 泄漏率（外漏） | 泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He |
| 材质 | SS316不锈钢 |
| 过程连接 | 标准为G1/4 内螺纹
Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞可根据用户要求定制
|
| 安装方式 | 对位置无要求 |
| 防护等级 | IP40 |
| 认证 | ISO 9001 |
应用行业
——
|
大学/研究所 |
环境监测 |
真空行业及镀膜 |
新能源 |
计量校准 |
气体质量流量控制器 LF-M010（数显型）
气体质量流量控制器原理是利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成，即热分布式流量控制器。
