产品详情

介绍

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热式原理

 

高精度高稳定性

 

耐腐蚀

 

宽量程比

 

安全可靠

 

国产化替代

 

 

高精度、长期稳定性强、抗吸附、耐腐蚀、耐高压,高端制造,助力科研。

 

 

 

详细参数

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主要参数 参数描述
介质要求 腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 可80多种气体
量程范围
(0…5,10,20,30,50,100,200,300,500...)sccm
(0…1,2,3,5,10,30)slm
精度 ±1.0%F.S(可选 ±0.5%F.S)
线性
±0.5%F.S
重复性 ±0.2 %满量程
响应时间
1sec
工作压差
0.05~0.4MPa(2sccm≤FLOW≤10slm)
0.1…0.4MPa(10slm≤FLOW≤30slm)
标定工况 0 ℃&101325Pa(其它标况可选)
工作温度 -5~55 ℃(可选高温选项至-20~80 ℃)
工作湿度 0 ~95 %,无冷凝
最大工作压力 3 MPaG/10MPaG
模拟输入/输出信号
RS485 Modbus-RTU 协议   0…5Vd(默认)   4…20mA(可选)
供电
24Vdc(默认供电) +15Vdc(可选),流量计<400mA,控制器< 600mA
电气接口 DB9   
泄漏率(外漏) 泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材质 SS316不锈钢
过程连接 标准为G1/4 内螺纹 
Φ3,Φ6,Φ10,1/8〞,1/4〞,3/8〞可根据用户要求定制
安装方式 对位置无要求 
防护等级 IP40
认证 ISO 9001

 

 

 

应用行业

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大学/研究所

环境监测

真空行业及镀膜

新能源

计量校准

 

气体质量流量控制器 LF-A010

采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量,可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大,然后与设定的电压进行比较,用所得的差值信号去驱动控制调节阀门,通过闭环,去控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
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