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产品选型
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产品详情
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微小流量气体混合仪,气体混合仪,气体配比

特点:微小流量气体混合,高精度控制多种气体混合比例,实现不同气体比要求,气路通道:1~8路(根据客户需求设计)。

详细介绍
 

操作说明

准备过程

1. 按图纸联接管路系统。

2. 按顺序联接质量流量控制器同显示仪的数据线,联接显示仪电源。

3. 打开显示仪电源(给质量流量控制器通电5-10分钟)。

4. 打开气源,入口压力(0.1-0.4MPA)之间。

5. 打开管道上的开关阀(******路:MV1-1,MV1-3 第二路:MV2-1,MV2-3)。

6. 关闭(******路:MV1-2第二路:MV2-2). 

7. 在流量显示仪1,2,3通道调节流量大小,通道3流量设定为******(些通道可以调节出口的流量大小,如果不是******流量,通道1,2气体流不出)。混合不同的气体分别调节1,2通道流量大小。

    通道1流量为:1000SCCM,通道2流量为:100SCCM,通道3流量为1500SCCM.

    

 注:******路:MV1-2第二路:MV2-2,主要功能为清洁管路和不使用混气功能时可对下游气体不控制流量。


特点性能

1.质量流量控制器******工作压力20MPa。(详见产品说明书)

2. ******工作温度5-50℃。

3. 国际主流通用管连接方式。

4. 316不锈钢材质。

5. 阀门与介质接触部分的零件材料为不锈钢、聚四氟乙烯。

6. 安装方便。

 气体混合仪系统参数

气体传输:8种气体 , Swagelok卡套连接
气体类型:NH3,CH4等
进气压力:0.1-0.4MPA

控制阀动作型式:常闭式

响应时间(sec):1S

  工作压差:0.05~0.5MPA

******耐压:3MPA
控制原理:质量流量控制,每个出口单独控制



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