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LF420/485-YC差压式气体质量流量控制器/流量计

气体质量流量控制器通过测量层流元件的差压、压力、温度来计算流量。 将计算流量值与设定流量值进行比较,采用 PID闭环控制调节阀门,使流过通道的流量与设定的流量相等。具有固有的线性,重复性好,精度高,无需预热,温漂小等特点。为模拟和数字兼容型,可通过模拟型二次表或PLC进行设定和显示瞬时流量,也可以通过RS485接口直接与计

详细介绍

       

产品介绍

气体质量流量控制器通过测量层流元件的差压、压力、温度来计算流量。 将计算流量值与设定流量值进行比较,采用 PID闭环控制调节阀门,使流过通道的流量与设定的流量相等。具有固有的线性,重复性好,精度高,无需预热,温漂小等特点。为模拟和数字兼容型,可通过模拟型二次表或PLC进行设定和显示瞬时流量,也可以通过RS485接口直接与计算机进行通讯。

产品特点:

* 固有的线性,精度高 

* 稳定性好,重复性好

* 可选模拟电路、数字电路

* 响应速度快,无需预热

* 温漂小


技术参数

产品型号

LF420-YC

LF485-YC

量程范围

5SCCM-300SLM

测控范围

控制50:1                   流量计100:1

准 确 度

±1.0% F.S

线    性

±0.5% F.S

重复精度

±0.2% F.S

响应时间

100ms

100ms

数 字 量

RS485 MODBUS协议

模 拟 量

DC 0-5V,4-20mA(负载< 500Ω)可选

供    电

DC +15V/+24V可选,控制器< 200mA,流量计< 50mA

工作温度

0-50℃

工作压力

工作压差0.1-0.5MPa

工作压降 < 0.01MPa

耐压

1MPa

电气连接

DB15

漏    率

1×10-8SCC/s He

底座材质

316L不锈钢或者铝合金

密封材料

氟橡胶,丁晴橡胶,氯丁橡胶

气路接头

标配Swagelok ¢6


 

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