多组份气体流量控制系统LFIX-4000 产品介绍

   六氟化钨投加混合氢气和氩气的装置，能把三种气体按照预定比例的掺混智能化集成系统，具有将各路气体进行流量控制检测、温度控制检测、系统抽真空以及氮气吹扫等功能。

多组份气体流量控制系统LFIX-4000  产品用途

   适用于CVD气相沉积设备系统，以及使用六氟化钨特殊气体的行业，主要用于表面材料的研究。

多组份气体流量控制系统LFIX-4000 应用领域

     扩散、氧化、分子束外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及真空镀膜设备、微反应装置、混气配气系统等行业。

多组份气体流量控制系统LFIX-4000  产品特点